投資要點(diǎn)：

 

    2022 年4 月國內(nèi)主流晶圓廠共開標(biāo)108 臺工藝設(shè)備，上海積塔為擴(kuò)產(chǎn)主力。我們以長江存儲、華力集成龍頭股、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海積塔、中車時(shí)代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國大陸主要的IDM 或代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過中國國際招標(biāo)網(wǎng)對上述晶圓廠中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2022 年4 月國內(nèi)10 家主流晶圓廠共開標(biāo)108 臺工藝設(shè)備，主要來自上海積塔（78 臺）、華虹無錫（20臺）、福建晉華（5 臺）、時(shí)代電氣（3 臺）、華力微電子（1 臺）、華力集成（1 臺）。

 

    22 年1-4 月合計(jì)開標(biāo)401 臺工藝設(shè)備概念股，主要來自華虹無錫（268 臺）、上海積塔（104 臺）、時(shí)代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺）。

 

    爐管、刻蝕設(shè)備為2022 年4 月國內(nèi)晶圓廠主要開標(biāo)設(shè)備。2022 年4 月開標(biāo)的108臺設(shè)備龍頭股中，按照不同工藝設(shè)備開標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（30 臺）、刻蝕設(shè)備（29 臺）、前道檢測設(shè)備（10 臺）、清洗設(shè)備（10 臺）、干法去膠設(shè)備（9臺）、沉積設(shè)備（8 臺）、離子注入機(jī)（4 臺）、涂膠顯影設(shè)備（4 臺）、后道測試設(shè)備（2 臺）、光刻機(jī)（1 臺）、拋光設(shè)備（1 臺）。2022 年1-4 月開標(biāo)的401 臺設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（112 臺）、刻蝕設(shè)備（61 臺）、沉積設(shè)備（61 臺）、前道檢測設(shè)備（48 臺）、后道測試設(shè)備（35 臺）、離子注入機(jī)（18 臺）、清洗設(shè)備（17 臺）、拋光設(shè)備（15 臺）、涂膠顯影設(shè)備（14臺）、干法去膠設(shè)備（14 臺）、光刻機(jī)（6 臺）。

 

    受國內(nèi)刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備廠家拉動(dòng)，中標(biāo)國產(chǎn)率持續(xù)提升。2022年4 月中國大陸設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為67 臺，國產(chǎn)率達(dá)62%。2022 年1-4 月開標(biāo)的401臺設(shè)備中，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì)97 臺，占比達(dá)24.2%。分晶圓廠看，2022 年1-4 月，上海積塔設(shè)備國產(chǎn)率超40%；分設(shè)備看，2022 年1-4 月國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國產(chǎn)率71%）、刻蝕設(shè)備（51%）、清洗設(shè)備（41%）、離子注入機(jī)（39%）、拋光設(shè)備龍頭股（27%）、涂膠顯影設(shè)備（21%）。聚焦4月份國內(nèi)中標(biāo)廠商，北方華創(chuàng)（中標(biāo)33 臺）、中微公司（13 臺）、屹唐（10 臺）、芯源微（7 臺）、上海精測概念股（1 臺）、盛美上海（1 臺）排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)的強(qiáng)勢地位。

 

    投資建議：重點(diǎn)關(guān)注國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)（002371）；高端刻蝕設(shè)備龍頭中微公司（688012）；持續(xù)突破高端后道測試機(jī)的長川科技（300604）、華峰測控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環(huán)節(jié)的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備小巨人芯源微（688037）；半導(dǎo)體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國產(chǎn)清洗設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)盛美上海（ 688082）、至純科技（ 603690）； 離子注入機(jī)領(lǐng)先企業(yè)萬業(yè)企業(yè)（600641）；半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)盛劍環(huán)境（603324）等。

 

    風(fēng)險(xiǎn)提示：晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期、設(shè)備概念股公司研發(fā)不及預(yù)期、中美貿(mào)易摩擦風(fēng)險(xiǎn)。

 

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